コート剤
Siウェーハのワックスレスポリッシュ時のコート、バックラップ時のコート、各種ウェーハのエッチング時のコート、切断時の表面保護、等目的は多種多様です。
プレインコート系
半導体ウェーハのワックスレス研磨時に発生するキズや吸着マークを防止し、裏面の影響を受けない平坦性が得られた高精度ウェーハの生産に寄与します。光学系ではレンズのヤケ防止やエッチング時の保護、加工時に起こるキズ・カケの発生を抑え、研磨液や砥粒から守ります。ユーザーのニーズに合わせた剥離タイプや耐薬品タイプ等を選べる、幅広い製品群が魅力です。
プロテクトリキッド系
プロテクトワックスを液状化したもので、抜群の耐薬品性を有したマスク剤です。エッチングや、メッキ加工等の表面保護剤としてご使用いただけます。
ナノシェルター
レーザーによるスクライブ（けがき）加工の際に加工面に事前にコートすることで、問題となるデブリ（ゴミ）の再付着を抑制します。
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