液状ワックス
自動ウェーハ貼り付け装置による塗布から剥離、洗浄までの一貫自動化ラインに対応した液状ワックスです。
スカイリキッド系
スカイリキッドシリーズはオートマウンターやスピンコーターでの塗布に最適で、高平坦度貼付による高精度ウェーハの生産ニーズにお応えします。洗浄は高純度洗浄剤「キララクリーン」や従来のSC-1を使うことにより、パーティクルの発生やヘイズ（くもり）を抑えた清浄な仕上がりが可能です。
アクアリキッド系
WAシリーズは、水溶性ワックスを有機溶剤で液状化した新しいワックスです。低温での貼り付け作業や、純水による洗浄が可能で、作業環境の改善と廃液処理の簡略化に大きく貢献します。JCシリーズは、溶媒に水を用いた環境にやさしい水溶性ワックスです。スカイリキッドと同様にプレートに塗布して使用可能です。洗浄は高純度洗浄剤「キララクリーン」などのアルカリ洗浄剤にて洗浄できます。これまでと同じ工程で処理することができ、新たな装置の導入は必要ありません。（PAT.）
アストロリキッド系
アストロリキッドは、パターン付き半導体デバイスウェーハの裏面研削加工時の仮止め用ワックスとして開発され、濃度選定により塗布膜の厚みも調整できる液状ワックスです。凹凸のあるパターン面への塗布性・密着性・耐加工性に優れ、加工後はIPA等の溶剤により洗浄が可能です。
スペースリキッド系
スペースリキッドはパターン付きウェーハの裏面研削時の仮止め用に新開発された高軟化点、耐薬品性タイプの液状ワックスです。スカイリキッドに比べて高い温度が発生する工程や薬品使用工程に最適です。塗布膜はスカイリキッドの約5～10倍の厚さで塗布できますのでパターン面へ影響を与えません。洗浄は溶剤で清浄に仕上がります。
メニュー「加工工程から絞り込む」でキーワードを選び、関連製品をさらに絞り込めます